Новости

Применение карбида кремния в полупроводниковой промышленности

【Производственный процесс】

Промышленный метод производства карбида кремния заключается в использовании высококачественного кварцевого песка и нефтяного кокса в печи сопротивления. Очищенный блок карбида кремния измельчается, промывается кислотой и щелочью, магнитной сепарацией и просеиванием или водной сепарацией для получения продуктов с различными размерами частиц.

Карбид кремния имеет две обычно используемые основные разновидности, черный карбид кремния и зеленый карбид кремния, оба из которых принадлежат к α-SiC。 (1) Черный карбид кремния содержит около 98,5% SiC, его прочность выше, чем у зеленого карбида кремния, и большинство из них используются для обработки материалов с низкой прочностью на разрыв, таких как стекло, керамика, камень, огнеупоры, чугун и цветные металлы. (2) Зеленый карбид кремния содержит более 99% SiC, хорошо самозатачивается, в основном используется для обработки цементированного карбида, титанового сплава и оптического стекла, но также используется для хонингования гильз цилиндров и тонкого шлифования инструментов из быстрорежущей стали. Кроме того, существует кубический карбид кремния, который представляет собой желто-зеленый кристалл, полученный специальным процессом, который используется для изготовления абразива, подходящего для суперфинишной обработки подшипников, который может сделать шероховатость поверхности от Ra32~0,16 мкм до Ra0,04~0,02 мкм.

[Использовать способ]

(1) В качестве абразива его можно использовать в качестве шлифовального круга, масляного камня, шлифовальной головки, наждачной плитки и т. д.

(2) Как металлургический раскислитель и материал, устойчивый к высоким температурам.

Карбид кремния имеет четыре основные области применения, а именно: функциональная керамика, современные огнеупоры, абразивы и металлургическое сырье. В настоящее время грубый материал из карбида кремния может поставляться в больших количествах, что не может рассматриваться как высокотехнологичный продукт, а применение наноразмерного порошка карбида кремния с чрезвычайно высоким техническим содержанием не может сформировать экономию масштаба в короткие сроки.

(3) Высокочистый монокристалл, который может использоваться для производства полупроводников и волокон карбида кремния.

(4) Карбид кремния обладает большой твердостью, превосходной теплопроводностью, является своего рода полупроводником и может противостоять окислению при высоких температурах.

Еще новости

Свяжитесь с нами

Пролистать наверх